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產品名稱:

甩干機—華林科納CSE

上市日期: 2017-04-06

甩干機—華林科納CSE

Spin-dry machine

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圖1.png

設備名稱

CSE-甩干機

主要功能

晶圓或器件的清洗甩干

腔體數量

單腔/雙腔/四腔

尺寸(參考)

L×D×H=面寬480mm×縱深820mm×高度1750mm

清洗件規格

4寸/5/寸6寸/8寸等尺寸晶圓或器件

操作流程

人工上貨→DI噴洗加轉子旋轉→HOTN2吹干加轉子旋轉→加速旋干含艙體加熱保溫→完成設備預設之制程結束。

工作轉速

300—2400r/min

主體構造特點

外觀材質本體以W-PP10t板材質組焊組合。

設備骨架SUS25*25*1.2T骨架組合,結構強固。

作業視窗視窗采透明壓克力材質,有效掌握作業情況。

管路系統:OneChamber模塊化。

排風系統間接式抽風設計,有效穩定空氣擾流,并同時減低異味。

機臺支腳具高低調整及鎖定功能。

機臺正壓保護N2正壓保護。

機臺微塵控制量:<80AddedAt0.2MicronorBetter

無刷伺服電機

去靜電

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氮氣控制單元

1)管件閥門:SMC電磁閥、PFA高純管件、PTFE氣動閥門。

2)氮氣加熱功能:不銹鋼加熱器在線加熱

3)低壓氮氣功能:待機時,保持腔內正壓,防止污染。

DIW控制單元

1)采用旋流式沖洗噴嘴。

2)排水口安裝電阻率探頭,對腔體排水水質進行監測。

3)沖洗工藝完成后,氮氣將殘留在沖洗管路內的去離子水吹凈。

4)待機時,保持回水盒內有水流入且流量可調。

電控單元及軟件系統

1)控制器操作界面:5.7記憶人機+PLC可程序自動化控制器(人機TouchScreen)

2)軟件功能編輯/儲存制程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作熒幕上修改。

3)儲存能力記憶模塊參數記憶配方設定。

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